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六氟化硫有毒嗎?純凈的六氟化硫是一種惰性氣體,在電弧作用下會(huì)分解,當(dāng)溫度高達(dá)4000K以上時(shí),大部分的分解物為硫和氟的單原子。電弧熄滅后,絕大部分的分解產(chǎn)物又重新結(jié)合成穩(wěn)定的六氟化硫分子。其中極i少量的分解物,在重新結(jié)合的過(guò)程中與游離的金屬原子、水和氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設(shè)備內(nèi)時(shí),無(wú)論是在故障情況下或是在正常的開(kāi)斷電弧作用下,可能分解,產(chǎn)生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。
經(jīng)驗(yàn)表明,工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環(huán)境中,也會(huì)感到刺鼻或不舒服的氣味,對(duì)鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應(yīng)在有明顯中i毒反應(yīng)之前的幾秒鐘內(nèi)就會(huì)產(chǎn)生。
SF6氣體已有百年歷史,它是法國(guó)兩位化學(xué)家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體,1940年前后,美國(guó)軍方將其用于曼哈頓計(jì)劃(核軍事)。
SF6是強(qiáng)電負(fù)性氣體,它的分子極易吸附自由電子而形成質(zhì)量大的負(fù)離子,削弱氣體中碰撞電離過(guò)程,因此其電氣絕緣強(qiáng)度很高,在均勻電場(chǎng)中約為空氣絕緣強(qiáng)度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時(shí)出現(xiàn)熱分解高峰,因此在交流電弧電流過(guò)零時(shí),六氟化硫制備,SF6對(duì)弧道的冷卻作用比空氣強(qiáng)得多,其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優(yōu)良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學(xué)穩(wěn)定性,它從20世紀(jì)50年代末開(kāi)始被用作高壓斷路器的滅弧介質(zhì)。在超高壓和特高壓斷路器中,SF6作為滅弧介質(zhì),已取代油,并已大量取代了壓縮空氣。
六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年,國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),六氟化硫,國(guó)內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,近年來(lái),各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。
該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí),六氟化硫供應(yīng)商,還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來(lái)用量有明顯的提高。
據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng),六氟化硫用途,總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右,
國(guó)內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求,半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。
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