清潔效果和再污染

通過水滴的接觸角評估，等離子體清潔和UV臭氧清潔可以降低到幾乎為0度。從理論上講，如果其他有機(jī)化合物即使以單層形式殘留在玻璃表面，接觸角也不會為0度。在現(xiàn)場獲得的接觸角具有接觸角計的測量極限，因此在收集大量數(shù)據(jù)時，測量極限在3到6度之間變化。毫無疑問，等離子體和UV臭氧的干洗可以將玻璃表面上的水滴的接觸角減小到幾乎為0度，但是玻璃表面上的物質(zhì)很難捕獲。另一個問題是，即使有機(jī)分子膜從表面上完全去除，許多氣體和蒸汽也懸浮在大氣中，并且它們粘附在玻璃表面上并被再次污染。多少還不清楚。檢查文獻(xiàn)數(shù)據(jù)，UV燈，差異是相當(dāng)大的，UV燈HL100G，例如較短的那一項為30分鐘，較長的那一項為24小時。因此，我們嘗試使用低壓燈和Xe準(zhǔn)分子燈清潔玻璃。結(jié)果示于圖2和3。如表6所示，UV燈MI1102，低壓燈和準(zhǔn)分子燈的發(fā)射波長是前者具有254nm和185nm的兩個光譜，而后者具有172nm的單個波長。光的波長越短，能量越高，185 nm線的能量為647 kJ / mol，而172 nm線的能量值為696 kJ / mol，大約高7.6％。盡管性能很高，但是在172 nm線中氧的吸收很強(qiáng)，因此在大約6.6 mm的距離處，大氣中的透射率下降到10。從圖2可以看出，當(dāng)用低壓燈進(jìn)行處理時，在圖中所示的條件下，UV燈SP-3-2H，接觸角測量極限在10秒內(nèi)達(dá)到。

處理時間延長至30秒，但接觸角值沒有變化。之后，通過實驗添加了超聲波清洗（MS），但接觸角儀未引起任何變化。實驗后，將樣品留在實驗室中，分別在40小時和120小時后測量表面的接觸角，處理10秒的樣品的接觸角增加到20度，但30秒的接觸角沒有變化。不可以 在120小時后的測量中，處理10秒的樣品略微上升并且接觸角增加至21度，但是處理30秒的樣品保持不變。由于此刻實驗已終止，因此后續(xù)結(jié)果未知，但迄今為止獲得的各種數(shù)據(jù)中的再污染時間。

需求的玻璃基板累積紫外線能量為300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩STN-LCD及彩色濾光片制作過程中，要求的玻璃基板累積紫外線能量600mj/cm2(253.7nm)。

日本SEN SUV90UH-43紫外線UV光清洗燈管

日本SEN UV紫外線燈管EUV200U

日本SEN SUV90US-88紫外線清洗燈

日本SEN SUV90US-51/UV紫外線燈

日本SEN紫外線清洗燈EUV200WH-47

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日本SEN紫外線清洗燈EUV200NS-40

日本SEN SUV90U紫外線UV光清洗燈

日本SEN UV清洗燈SUV110PL-23A

SEN特殊光源EUV200NS-36紫外線清洗燈

SEN特殊光源 清洗燈EUV200NS-35

日本SEN UV清洗燈EUV200GS-51

日本SEN紫外線清洗燈EUV200US-77

適用范圍

液晶顯示器件、觸摸屏、半導(dǎo)體硅芯片、集成電路、印制電路板、光學(xué)器件、石英晶體、密封技術(shù)、帶氧化膜的金屬材料

光化學(xué)、陰冷極燈

特殊光源SEN SP-5-2L冷陰極燈

SEN冷陰極筆式燈SL8UH，SL8UH

SEN冷陰極筆式燈SL10UH

日本SEN冷陰極筆式燈SL5UH

日本SEN冷陰極筆式燈SL5DH

日本SEN冷陰極筆式燈SL4UH

日本SEN冷陰極筆式燈SL2UH

SEN冷陰極筆式燈（特種）SP-5-2H

SEN冷陰極筆式燈（新品）SP-3-2L

日本SEN冷陰極筆式燈SP-3-2H

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