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這種分子泵的維護(hù)可具體分為：1）牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子碰撞以獲得動(dòng)量，并被驅(qū)動(dòng)到泵出口。 2）渦輪分子泵通過與高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和固定的固定葉片配合實(shí)現(xiàn)抽氣。 這樣的泵通常以分子流動(dòng)狀態(tài)運(yùn)行。 3）復(fù)合分子泵它是由兩個(gè)渦輪泵和牽引泵串聯(lián)而成的復(fù)合分子真空泵。

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渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，VARIAN TV301分子泵維修公司，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，高真空機(jī)組是由分子泵和機(jī)械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。

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分子泵啟動(dòng)的條件：

　　①、啟動(dòng)條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度

　　②、啟動(dòng)時(shí)間：

　　同時(shí)啟動(dòng)——小系統(tǒng)，防前級(jí)泵油上返。

　　延遲啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過大，先啟動(dòng)前級(jí)泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時(shí)，啟動(dòng)分子泵。

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傳動(dòng)膠帶不用時(shí)，應(yīng)把膠帶拆下，用溫水清洗擦干后保存在沒有陽光直接照射的地方，也不要存放在有油污、腐蝕物及煙霧的地方。無論在何種情況下，都不要使膠帶沾上機(jī)油、柴油或等油類物質(zhì)，不要對(duì)膠帶涂松香和其他粘性的物質(zhì)。膠帶在使用前，須清除膠帶接觸面的。

把所有螺釘、螺栓用鋼絲刷刷洗干凈，并涂上機(jī)油或浸在柴油中保存。

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當(dāng)M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作；

 打開分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥；

 .每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞；

 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)槍進(jìn)行檢查。 在再次打開分子泵之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

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在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上，產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵；

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