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在處理紫外線(UV)時(shí),有必要知道UV主波長(zhǎng)的能量值,尤其是UV照度和UV曝光值,以便進(jìn)行數(shù)值控制。紫外線照度是入射到表面上某個(gè)點(diǎn)的輻射通量除以面積,單位為W / m2。紫外線曝光量是在給定的動(dòng)作時(shí)間內(nèi)紫外線照度和在一個(gè)點(diǎn)上照射的時(shí)間的積分值,單位為J / m2(紫外線曝光量(J / m2)=紫外線照度(W / m2)×動(dòng)作時(shí)間。
但是,由于長(zhǎng)度(m)和照度(W)的單位較大并且難以使用,因此在該領(lǐng)域中主要使用紫外線暴露(mJ / cm 2)和紫外線照度(mW / cm 2)的單位。
只能在特定波長(zhǎng)下測(cè)量紫外線照度和紫外線照射。近來(lái),幾種類型的照度計(jì)在400nm區(qū)域可商購(gòu)獲得,主要是254nm,365nm,185nm和172nm。測(cè)量紫外線時(shí)要注意的一件事是,紫外線照度計(jì)和紫外線暴露計(jì)的精度極差。原因是在紫外線范圍內(nèi)沒有高度的公共標(biāo)準(zhǔn)光源。比較不同制造商的紫外線儀器的值時(shí),有四個(gè)不同的示例。但是,該儀器的精度很高且可靠。因此,有必要記錄紫外線照度和紫外線照射量的數(shù)值,并與他人比較時(shí)使用的儀器的制造商名稱,以準(zhǔn)備進(jìn)行比較。表2顯示了用于UV表面處理的主要波長(zhǎng)及其能量值。表2.低壓紫外線燈和準(zhǔn)分子燈的主要波長(zhǎng)和能量 低壓紫外線燈氙準(zhǔn)分子燈高壓紫外線燈發(fā)射波長(zhǎng)(nm)185254172365等能量(kJ /摩爾)647472696328(eV)6.74.97.23.4
紫外線清洗
紫外光清洗的工作原理
適用范圍
液晶顯示器件、觸摸屏、半導(dǎo)體硅芯片、集成電路、印制電路板、光學(xué)器件、石英晶體、密封技術(shù)、帶氧化膜的金屬材料
主要材料:ITO玻璃、光學(xué)玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅芯片和帶有氧化膜的金屬等進(jìn)行精密清洗處理??梢匀コ酃福河袡C(jī)性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹脂添加劑及聚酰、石蠟、松香、潤(rùn)滑油、殘余的光刻膠等
光化學(xué)/陰冷極燈
特殊光源SEN SP-5-2L冷陰極燈管
SEN冷陰極筆式燈SL10UH管
SEN冷陰極筆式燈SL8UH,SL8UH管
日本SEN冷陰極筆式燈SL5UH管
日本SEN冷陰極筆式燈SL5DH管
日本SEN冷陰極筆式燈SL4UH管
日本SEN冷陰極筆式燈SL2UH管
SEN冷陰極筆式燈(特種)SP-5-2H管
SEN SP-3-2L冷陰極筆式燈(新品)管
日本SEN冷陰極筆式燈SP-3-2H管
京都玉崎SEN紫外線固化燈HL100G管
濕式清潔的個(gè)特點(diǎn)是在清除大量污垢方面表現(xiàn)出色,但是當(dāng)污垢變小時(shí),清潔效率會(huì)降低,清潔劑本身會(huì)殘留在表面上,SEN日森HLR100T-2 ,反而成為污染源。用紫外線臭氧或等離子干洗不適合去除大的污染物,但是它的優(yōu)點(diǎn)是可以在分子和原子水平上對(duì)污染物進(jìn)行高度處理。表2顯示了使用普通窗戶玻璃作為樣品對(duì)水滴的接觸角進(jìn)行的典型濕法清潔,等離子清潔和UV清潔能力的評(píng)估結(jié)果。下表中的UV臭氧清潔結(jié)果是我們的內(nèi)部數(shù)據(jù)。由于等離子體清潔和紫外線臭氧清潔而產(chǎn)生的4至5度的水滴接觸角值是接觸角計(jì)的測(cè)量極限,SEN日森HB100A-1,因此實(shí)際上都可以視為0度。
根據(jù)該表,難以將濕式清潔劑的接觸角減小至10度以下,但是干洗具有在短時(shí)間內(nèi)將接觸角減小至0度的能力。有趣的是,當(dāng)用酒精擦拭和用烴溶劑清洗時(shí),接觸角更高。由于手擦是非常不穩(wěn)定的方法,SEN日森,因此在此省略評(píng)估,但是當(dāng)用烴溶劑洗滌時(shí)接觸角的增加非常高。這是本領(lǐng)域中眾所周知的現(xiàn)象,當(dāng)在清潔玻璃的后步驟中使用玻璃基溶劑時(shí),結(jié)垢明顯增加。盡管碳?xì)浠衔锶軇┚哂泻艽蟮娜芙庥托晕廴疚锏哪芰?,但溶劑本身也保留在表面上,并且?guī)讉€(gè)分子層仍然吸附在玻璃上。可以看出,將清洗后的玻璃徹底干燥然后加熱至數(shù)百度時(shí),由于碳化溶劑,玻璃表面變?yōu)轷r紅色。取決于樣品的儲(chǔ)存歷史,SEN日森SUV40UL-32,換句話說(shuō),表面上的污染程度,僅使用干洗是低效的。重要的技術(shù)訣竅是預(yù)先掌握要清潔的物體的污染狀態(tài),并結(jié)合適用于這種情況的濕式清潔和干洗。
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