（3）這種處理方法要求紫外線能透過(guò)清洗對(duì)象表面，對(duì)有立體結(jié)構(gòu)的清洗對(duì)象不太適合，日森SUV110US-84，只能清洗表面結(jié)構(gòu)的物體。（4）由于需防止臭氧擴(kuò)散對(duì)人體造成損害，需要在封閉裝置中進(jìn)行清洗。（5）由于臭氧是通過(guò)氧化反應(yīng)去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用這種方法處理。

SEN_低壓燈用安定器HB3000A

日本SEN_安定器/電源HE2000C

日本_SEN_安定器/電源HB2000E-3

日本SEN安定器，電源HB2000C

日本SEN_低壓紫外線燈安定器/電源HE1000C

SEN安定器/電源HB1000E-3（日本制造）

日本SEN_電源HB1000C

SEN低壓燈用安定器HB400E-1

SEN低壓紫外線燈燈安定器/電源HB1000A-3

日本SEN_電源HB400A-5

SEN安定器_電源HB100P

SEN低壓燈用安定器HB100A-1

SEN低壓紫外線燈燈安定器/電源_SEU2002WB5

SEN低壓燈用安定器SEU2002SB5

日本SEN低壓燈用安定器SEU1102B3

日本SEN安定器/電源RA/C1101H1，RB/D1101H1

SEN安定器/電源C6/5H1/21110-A1（日本制造）

需求的玻璃基板累積紫外線能量為300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩STN-LCD及彩色濾光片制作過(guò)程中，日森，要求的玻璃基板累積紫外線能量600mj/cm2(253.7nm)。

日本SEN SUV90UH-43紫外線UV光清洗燈管

日本SEN UV紫外線燈管EUV200U

日本SEN SUV90US-88紫外線清洗燈

日本SEN SUV90US-51/UV紫外線燈

日本SEN紫外線清洗燈EUV200WH-47

日本SEN清洗燈 EUV200GS-51

日本SEN紫外線清洗燈EUV200NS-40

日本SEN SUV90U紫外線UV光清洗燈

日本SEN UV清洗燈SUV110PL-23A

SEN特殊光源EUV200NS-36紫外線清洗燈

SEN特殊光源 清洗燈EUV200NS-35

日本SEN UV清洗燈EUV200GS-51

日本SEN紫外線清洗燈EUV200US-77

通過(guò)水滴的接觸角評(píng)估，等離子體清潔和UV臭氧清潔可以降低到幾乎為0度。從理論上講，如果其他有機(jī)化合物即使以單層形式殘留在玻璃表面，接觸角也不會(huì)為0度。在現(xiàn)場(chǎng)獲得的接觸角具有接觸角計(jì)的測(cè)量極限，因此在收集大量數(shù)據(jù)時(shí)，測(cè)量極限在3到6度之間變化。毫無(wú)疑問(wèn)，等離子體和UV臭氧的干洗可以將玻璃表面上的水滴的接觸角減小到幾乎為0度，但是玻璃表面上的物質(zhì)很難捕獲。另一個(gè)問(wèn)題是，即使有機(jī)分子膜從表面上完全去除，日森SUV40UL-32 ，許多氣體和蒸汽也懸浮在大氣中，并且它們粘附在玻璃表面上并被再次污染。多少還不清楚。檢查文獻(xiàn)數(shù)據(jù)，差異是相當(dāng)大的，例如較短的那一項(xiàng)為30分鐘，日森SUV110GS-36L，較長(zhǎng)的那一項(xiàng)為24小時(shí)。因此，我們嘗試使用低壓燈和Xe準(zhǔn)分子燈清潔玻璃。結(jié)果示于圖2和3。如表6所示，低壓燈和準(zhǔn)分子燈的發(fā)射波長(zhǎng)是前者具有254nm和185nm的兩個(gè)光譜，而后者具有172nm的單個(gè)波長(zhǎng)。光的波長(zhǎng)越短，能量越高，185 nm線的能量為647 kJ / mol，而172 nm線的能量值為696 kJ / mol，大約高7.6％。盡管性能很高，但是在172 nm線中氧的吸收很強(qiáng)，因此在大約6.6 mm的距離處，大氣中的透射率下降到10。從圖2可以看出，當(dāng)用低壓燈進(jìn)行處理時(shí)，在圖中所示的條件下，接觸角測(cè)量極限在10秒內(nèi)達(dá)到。

處理時(shí)間延長(zhǎng)至30秒，但接觸角值沒(méi)有變化。之后，通過(guò)實(shí)驗(yàn)添加了超聲波清洗（MS），但接觸角儀未引起任何變化。實(shí)驗(yàn)后，將樣品留在實(shí)驗(yàn)室中，分別在40小時(shí)和120小時(shí)后測(cè)量表面的接觸角，處理10秒的樣品的接觸角增加到20度，但30秒的接觸角沒(méi)有變化。不可以 在120小時(shí)后的測(cè)量中，處理10秒的樣品略微上升并且接觸角增加至21度，但是處理30秒的樣品保持不變。由于此刻實(shí)驗(yàn)已終止，因此后續(xù)結(jié)果未知，但迄今為止獲得的各種數(shù)據(jù)中的再污染時(shí)間。

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