脫鹽水又叫除鹽水、去離子水、純水，一般指將水中易去除的強導電質(zhì)去除又將水中難以去除的硅酸及二氧化碳等弱電解質(zhì)去除至一定程度的水，水中剩余含鹽量一般在1.0mg/L以下，25℃時，水的電阻率為1.0~10×106Ω.cm。高純水是指25℃時電導率小于0.1 μs/cm和殘余含鹽量小于0.3 mg/L，并去除了非電介質(zhì)的微量細菌、微生物、微粒等雜質(zhì)的水，制備方法需蒸餾、膜分離、離子交換和滅菌，主要用于電子和微電子工業(yè)，也用于食品、造紙、醫(yī)藥、電子、核工業(yè)等行業(yè)。我國高純水的國家標準將電子級水分為五個級別，相應(yīng)標準為EW-I、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-IV、EW-V，其中EW-I它所要求的雜質(zhì)控制指標如下：電阻率在90%時間內(nèi)達到18 MQ·cm（25℃），其余時間較小值為17 MQ·cm（25℃），大于0.5 μm的微粒數(shù)少于100個/mL，細菌個數(shù)較大值1個/mL，總有機碳含量不大于50 μg/L，二氧化硅總含量不大于2 μg/L，氯、鉀、鋁、鐵、鈣的含量均不大于0.5 μg/L，而銅、鋅含量不大于0.2 μg/L。