擴(kuò)散泵的工作原理是用電爐將特種擴(kuò)散泵油加熱至蒸汽　狀態(tài)，高溫油蒸汽膨漲向上升起，靠油蒸汽吸附電鏡鏡體內(nèi)的氣體，從噴嘴朝著擴(kuò)散泵內(nèi)壁射出，在環(huán)繞擴(kuò)散泵外壁的冷卻水的強(qiáng)制降溫下，油蒸汽冷卻成液體時(shí)析出氣體排至泵外，由機(jī)械泵抽走氣體，油蒸汽冷卻成液體后靠重力回落到加熱電爐上的油槽里循環(huán)使用。擴(kuò)散泵的抽氣速度很快，約為每秒鐘570L左右，電鏡檢測(cè)服務(wù)，工作能力也較強(qiáng)，可達(dá)10～10Pa。但它只能在氣體分子較稀薄時(shí)使用，這是由于氧氣成分較多時(shí)易 使高溫油蒸氣燃燒，所以擴(kuò)散泵通常與機(jī)械泵串聯(lián)使用，在機(jī)械泵將鏡筒真空度抽到一定程度時(shí)，才啟動(dòng)擴(kuò)散泵。



C1、C2的工作原理是通過(guò)改變聚光透鏡線(xiàn)圈中的電流，來(lái)達(dá)到改變透鏡所形成的磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化，磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化（亦即折射率發(fā)生變化）能使電子束的會(huì)聚點(diǎn)上下移動(dòng)，在樣品表面上電子束斑會(huì)聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑發(fā)散，照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過(guò)調(diào)整聚光鏡電流來(lái)改變照明亮度的方法，實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法，亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度，只有通調(diào)整前面提到的電子qiang中的柵極偏壓，才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動(dòng)光闌，用以改變光束照明的孔徑角，一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域，使樣品上無(wú)需觀(guān)察的部分免受電子束的轟擊損傷；另一方面也能減少散射電子等不利信號(hào)帶來(lái)的影響。

透射電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況：

吸收像：當(dāng)電子射到質(zhì)量、密度大的樣品時(shí)，主要的成相作用是散射作用。樣品上質(zhì)量厚度大的地方對(duì)電子的散射角大，通過(guò)的電子較少，像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。

衍射像：電子束被樣品衍射后，樣品不同位置的衍射波振幅分布對(duì)應(yīng)于樣品中晶體各部分不同的衍射能力，當(dāng)出現(xiàn)晶體缺陷時(shí)，缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同，從而使衍射波的振幅分布不均勻，反映出晶體缺陷的分布。

相位像：當(dāng)樣品薄至100?以下時(shí)，電子可以穿過(guò)樣品，波的振幅變化可以忽略，成像來(lái)自于相位的變化。

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