金屬蒸汽離子激光中，氦鎘(He-Cd)激光是的，氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線，和441.6 nm藍(lán)光，是常見(jiàn)的輸出。加上特殊設(shè)計(jì)時(shí)，它可同時(shí)發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長(zhǎng)成分，在信息處理方面很有用。適當(dāng)調(diào)配各波長(zhǎng)的輸出，幾乎能夠發(fā)生一切可見(jiàn)光的顏色，因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲(chǔ)存密度及鑒別能力的提高，使它在量度、查驗(yàn)、記載、印刷等方面有許多使用。近年來(lái)CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過(guò)程中，曾經(jīng)遇到各種各樣的問(wèn)題，給很多廠商造成不少困擾。重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì)，如ArF， KrF， XeF，高純激光混合氣， KrCl， XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫(xiě)成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。

氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱(chēng)為第三代激光。Au，Cu，Ba，Sn，Pb，激光混合氣批發(fā)，Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中，?；烊氲蛪毫Φ亩栊詺怏w，以提高放電效率。

激光切割機(jī)用的激光混合氣體，二維激光切割機(jī)床用的四元激光混合氣體，主要用于鋼材的鈑金加工。中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來(lái)自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar ，Kr )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長(zhǎng)屬于紅外線波段，成都激光混合氣，后者則在可見(jiàn)光和紫外線區(qū)。激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。

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