微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先，它已向中國臺(tái)灣的 Micron、UMC、AKT 等，新加坡的 Micron、Global Foundries，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時(shí)完成了對(duì)半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。其次，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能，保證可使用 25 萬次，且檢修方便，維護(hù)成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外，它還具有屏蔽保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm，能有效防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特，Protecrion Ring 通過流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｎ⑻└邏洪l閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵。真空閘閥手動(dòng)閥

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案，真空插板閥品牌—微泰。控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥、多位置閘閥使用氣動(dòng)控制操作。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。氣動(dòng)閘閥BUTTERFLY VALVE高壓閘閥結(jié)構(gòu)簡單，制造和維修比較方便。工作行程小，啟閉時(shí)間短。密封性好，密封面間磨擦力小，壽命較長。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長閥門驅(qū)動(dòng)及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮了其復(fù)原力，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動(dòng)性能的提升。

真空閘閥的選擇需要考慮以下幾個(gè)關(guān)鍵因素：1.應(yīng)用環(huán)境：確定真空閘閥將用于何種真空環(huán)境，例如實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)或特殊應(yīng)用等。2.真空度要求：根據(jù)應(yīng)用需求選擇合適的真空度范圍，確保閘閥能夠滿足工作環(huán)境的真空度要求。3.材料：選擇閘閥的材料應(yīng)考慮耐腐蝕性、耐溫性以及與介質(zhì)的兼容性。4.尺寸和接口：根據(jù)系統(tǒng)管道的尺寸和接口類型選擇合適的閘閥尺寸和連接方式。5.流量要求：根據(jù)系統(tǒng)流量需求選擇合適的閘閥，確保其能夠滿足最大流量要求。6.控制方式：選擇手動(dòng)、氣動(dòng)或電動(dòng)等控制方式，以適應(yīng)不同的操作需求。7.品牌和質(zhì)量：選擇信譽(yù)良好、質(zhì)量可靠的制造商，確保閘閥的性能和壽命。8.維護(hù)和售后服務(wù)：考慮制造商提供的維護(hù)支持和售后服務(wù)，以確保長期使用中的問題能夠得到及時(shí)解決。綜合以上因素，選擇適合您具體需求的真空閘閥。高壓閘閥只許介質(zhì)單向流動(dòng)，安裝時(shí)有方向性。它的結(jié)構(gòu)長度大于閘閥，同時(shí)流體阻力大。

閘閥（gate valve）是一個(gè)啟閉件閘板，閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直，閘閥只能作全開和全關(guān)，不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流。閘閥通過閥座和閘板接觸進(jìn)行密封，通常密封面會(huì)堆焊金屬材料以增加耐磨性，如堆焊1Cr13、STL6、不銹鋼等。閘板有剛性閘板和彈性閘板，根據(jù)閘板的不同，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。閘閥關(guān)閉時(shí)，密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封，即只依靠介質(zhì)壓力將閘板的密封面壓向另一側(cè)的閥座來保證密封面的密封，這就是自密封。大部分閘閥是采用強(qiáng)制密封的，即閥門關(guān)閉時(shí)，要依靠外力強(qiáng)行將閘板壓向閥座， 以保證密封面的密封性。閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種。氣動(dòng)閘閥BUTTERFLY VALVE

閘閥的結(jié)構(gòu)長度(系殼體兩連接端面之間的距離)較小。真空閘閥手動(dòng)閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，蝶閥，Butterfly Valve產(chǎn)品范圍：DN40 ~ 50 -壓力控制-使用步進(jìn)電機(jī)- Product Range : DN40 ~ 50- Pressure Controlled- Using Stepper Motor，- Compatible with VAT Butterfly Control Valve, series61.2 - Application Process : PVD, CVD, Etching, Diffusion-使用步進(jìn)電機(jī)和控制器執(zhí)行驅(qū)動(dòng)。-通過步進(jìn)電機(jī)/控制器精確定位，確保精確的壓力控制。-兼容VAT蝶閥控制器，系列61.2，-應(yīng)用工藝： PVD，CVD，蝕刻，擴(kuò)散。微泰蝶閥Butterfly Valve有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。真空閘閥手動(dòng)閥