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光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖,再通過超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產(chǎn)生一系列可見光聚焦點(diǎn)。這種可見光聚焦點(diǎn)是連續(xù)的,不重合的。當(dāng)待測(cè)物放置檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí),只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,產(chǎn)生波峰焊。全部別的波長(zhǎng)也將失去焦點(diǎn)。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計(jì)算待測(cè)物體的部位,創(chuàng)建光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編號(hào)。該超色差鏡片通過提升 ,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來(lái)電子光學(xué)信號(hào)的光譜成份。因而,超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件,其設(shè)計(jì)方案尤為重要。光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。非接觸式光譜共焦廠家
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測(cè)量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測(cè)物體放置在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí),只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表面并反射回來(lái),產(chǎn)生波峰信號(hào)。其他波長(zhǎng)將失去對(duì)焦。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計(jì)算待測(cè)物體的位置,并創(chuàng)建對(duì)應(yīng)于光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學(xué)信號(hào)的不同光譜成分,因此,是傳感器的關(guān)鍵部件,其設(shè)計(jì)方案非常重要。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦哪個(gè)品牌好光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域;
光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上來(lái)工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。經(jīng)過共焦孔徑從目標(biāo)表面反射回來(lái)的光進(jìn)入光譜儀進(jìn)行檢測(cè)和處理。在整個(gè)傳感器的測(cè)量范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸,通常小于10微米。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁面,以及測(cè)量窄孔、小間隙和空腔 。
為了提高加工檢測(cè)效率 ,實(shí)現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺(tái)測(cè)量,提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場(chǎng)坐標(biāo)測(cè)量平臺(tái)上集成表面粗糙度測(cè)量的方法。搭建實(shí)驗(yàn)測(cè)量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺(tái)上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評(píng)價(jià)環(huán)境,建立了非接觸的表面粗糙度測(cè)量能力。對(duì)標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階、表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊和曲面輪廓樣品進(jìn)行了測(cè)量,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該測(cè)量系統(tǒng)具有較高的測(cè)量精度和重復(fù)性,粗糙度參數(shù)Ra的測(cè)量重復(fù)性為0.0026μm,在優(yōu)化零件檢測(cè)流程和提高整體檢測(cè)效率等方面具有一定的應(yīng)用前景。光譜共焦位移傳感器的工作原理是通過激光束和光纖等光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)的。
在工業(yè)領(lǐng)域 ,光譜共焦傳感器的應(yīng)用可以幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高精度的加工,提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。首先,高精度光譜共焦傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)加工表面形貌的j精確測(cè)量。在精加工過程中,產(chǎn)品的表面形貌對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。傳統(tǒng)的測(cè)量方法往往需要接觸式測(cè)量,不僅測(cè)量精度受限,而且容易對(duì)產(chǎn)品表面造成損傷。而光譜共焦傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的高精度測(cè)量,不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品表面形貌的整體測(cè)量,而且對(duì)產(chǎn)品表面不會(huì)造成任何損傷,極大地提高了測(cè)量的精度和可靠性。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法往往需要取樣送檢,耗時(shí)耗力,而且無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。而光譜共焦傳感器能夠通過對(duì)反射光的分析,準(zhǔn)確地獲取產(chǎn)品表面的顏色和成分信息,實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和反饋,為企業(yè)提供了更加可靠的質(zhì)量保證。高精度光譜共焦傳感器在精加工領(lǐng)域的應(yīng)用還可以幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)對(duì)加工工藝的優(yōu)化和提升。通過對(duì)產(chǎn)品表面形貌、顏色以及成分等信息的完整獲取,企業(yè)可以更加深入地了解產(chǎn)品的加工特性,發(fā)現(xiàn)潛在的加工問題,并針對(duì)性地進(jìn)行工藝優(yōu)化和改進(jìn),提高產(chǎn)品的加工精度和一致性,降低生產(chǎn)成本,提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力 。光譜共焦技術(shù)主要來(lái)自共焦顯微術(shù),早期由美國(guó)學(xué)者 Minsky 提出。非接觸式光譜共焦廠家
光譜共焦技術(shù)可以對(duì)材料表面和內(nèi)部進(jìn)行接觸式的檢測(cè)和分析。非接觸式光譜共焦廠家
對(duì)光譜共焦位移傳感器原理進(jìn)行理解與分析得出,想得到的理想鏡頭應(yīng)該具備以下性能:首先需要其產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施,而對(duì)于此傳感器需要利用其色差進(jìn)行測(cè)量,并且還需將其擴(kuò)大化,其次產(chǎn)生軸向色差后在軸上的焦點(diǎn)會(huì)由于單色光球差的問題導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)FWHM(Full Width at Half Maximum)變大,影響分辨率,同時(shí)為確保單色光在軸上匯聚點(diǎn)單一,需要對(duì)其球差進(jìn)行控制 ,?為使此位移傳感器從原理上保證傳感器的線性度,平衡傳感器各個(gè)聚焦位置的靈敏度,應(yīng)盡量使焦點(diǎn)位置與波長(zhǎng)成線性關(guān)系。非接觸式光譜共焦廠家
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