氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因為選型或選擇密封材料錯誤，質(zhì)量控制器報價， 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高， 通常要求不高的場合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明，質(zhì)量控制器， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒有顆粒物， 沒有液體， 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準， 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應， 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效，還容易產(chǎn)生危險。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa，質(zhì)量控制器多少錢， 有可能操控流量達不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬肕FC時， 無論客戶工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

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