氣體質(zhì)量流量控制器應用領域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，電子流量控制器哪家好， 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，電子流量控制器， 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩(wěn)壓電源， 設定電位器， 和三位閥控開關等。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達不上滿量程值; 若高過0.3MPa，電子流量控制器公司， 有可能在關閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬肕FC時， 無論客戶工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

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