玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一，每個液晶屏需要兩個玻璃基板，用作底部基板和彩色濾光片底部的支撐基板。玻璃基板的質(zhì)量對面板的分辨率、透光度、厚度、凈重和可見角度等參數(shù)都有很大的影響。玻璃基板是液晶顯示屏中基本的構(gòu)件之一，其制備過程需要獲得非常平坦的表面。當(dāng)前在商業(yè)上使用的玻璃基板厚度為0.7毫米和0.5毫米，未來還將向更薄的特殊groove （如0.4毫米）厚度發(fā)展。大多數(shù)TFT-LCD穩(wěn)定面板需要兩個玻璃基板。由于玻璃基板很薄，而厚度規(guī)格要求相當(dāng)嚴(yán)格，通常公差穩(wěn)定在0.01毫米，因此需要對夾層玻璃的厚度、膨脹和平面度進行清晰的測量。使用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以很好地解決這個問題，一次測量就可以獲得多個高度值和厚度補償。同時，可以使用多個傳感器進行測量，不僅可以提高效率，還可以防止接觸式測量所帶來的二次損傷。國內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表；工廠光譜共焦檢測

光譜共焦技術(shù)是一種高精度、非接觸的光學(xué)測量技術(shù)，將軸向距離與波長的對應(yīng)關(guān)系建立了一套編碼規(guī)則。作為一種亞微米級、迅速精確測量的傳感器，基于光譜共焦技術(shù)的傳感器已廣應(yīng)用于表面微觀形狀 、厚度測量 、位移測量、在線監(jiān)控和過程管控等工業(yè)測量領(lǐng)域。隨著光譜共焦傳感技術(shù)的不斷發(fā)展，它在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量測量和其他領(lǐng)域的應(yīng)用將會更加廣。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，無需軸向掃描，可以直接利用波長對應(yīng)軸向距離信息，大幅提高測量速度。線光譜共焦常用解決方案光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義；

根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先，產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進行測量，需要將其擴大化 ；其次，產(chǎn)生軸向色差后，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM（半峰全寬）變大，影響分辨率；同時，為確保單色光在軸上匯聚到單一點，需要控制其球差；為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度，焦點位置應(yīng)盡量與波長成線性關(guān)系。

光譜共焦位移傳感器是一種基于光波長偏移調(diào)制的非接觸式位移傳感器。它也是一種新型極高精密度、極高可靠性的光學(xué)位移傳感器，近些年對迅速、精確的非接觸式測量變得更加關(guān)鍵。光譜共焦位移傳感器不但可以精確測量偏移，還可用作圓直徑的精確測量，及其塑料薄膜的折光率和厚度的精確測量，在電子光學(xué)計量檢定、光化學(xué)反應(yīng)、生物醫(yī)學(xué)工程電子光學(xué)等領(lǐng)域具備大量應(yīng)用市場前景。光譜共焦位移傳感器的誕生歸功于共聚焦顯微鏡研究。它們工作中原理類似，都基于共焦原理。1955年，馬文·明斯基依據(jù)共焦原理研發(fā)出共焦光學(xué)顯微鏡。接著，Molesini等于1984年給出了光譜深層掃描儀原理，并將其用于表面輪廓儀。后來在1992年，Browne等人又把它運用到共聚焦顯微鏡中，應(yīng)用特殊目鏡造成散射開展高度測量 ，不用彩色掃描，提升了測量速度。a.Ruprecht等運用透射分束制定了超色差鏡片，a.Miks探討了運用與不一樣玻璃材質(zhì)連接的鏡片得到鏡頭焦距與波長線性關(guān)系的辦法。除開具有μm乃至納米技術(shù)屏幕分辨率以外，光譜共焦位移傳感器還具備對表層質(zhì)量要求低，容許更多的傾斜度和達(dá)到千HZ的輸出功率的優(yōu)勢。光譜共集技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測和測量。

基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量，是一種利用光譜共焦技術(shù)對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法。該技術(shù)主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點，實現(xiàn)對表面高度的快速、準(zhǔn)確測量 。通過采集不同波長的反射光譜信息，結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率，可以測量出手機曲面外殼上不同位置的高度值，得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機械測量和影像測量方法，基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢，可以適用于手機外殼、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測量和質(zhì)量控制。光譜共焦技術(shù)可以對材料表面和內(nèi)部進行接觸式的檢測和分析。工廠光譜共焦檢測

光譜共焦位移傳感器在微機電系統(tǒng)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。工廠光譜共焦檢測

光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、快速測量方式、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口 。工廠光譜共焦檢測