靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數(shù)，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現(xiàn)了靶丸內表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線;?對測量結果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析，結果表明 ，白光共焦光譜能實現(xiàn)靶丸內表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦位移傳感器在微機電系統(tǒng)、醫(yī)學、材料科學等領域中有著廣泛的應用。高精度光譜共焦制造公司

由于每一個波長都可以固定一個距離值，因此，通過將光譜山線峰值波長確定下來，就可以將精確的距離值推算出來。假設傳感器與物體表面存在相對移動，此時物體表面的中心點恰好處在單色光（A1）的像點處，可以作出光譜儀探測到的光譜曲線。通過測量得到不同的波長值，可以將物體表面不同點之間的相對位移值計算出來。如果配上精細的掃描機構，就可以對整體的二維表面輪廓及形貌進行精確的測量。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器 ，光譜共焦傳感器憑借獨特的測量原理，具有測量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點，在各個領域都得到了大量的應用。線光譜共焦供應商光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量，具有高精度和高分辨率。

客戶一直使用潔凈室中的激光測量設備來檢查對齊情況，但每個組件的對齊檢查需要大約十分鐘，時間太長了。因此，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間?，F(xiàn)在，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器已經通過測試和驗證。

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組 ，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此，只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術可以對材料表面和內部進行非接觸式的檢測和分析。

光譜共焦傳感器專為需要高精度的測量任務而設計，通常是研發(fā)任務、實驗室和醫(yī)療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量外 ，這些傳感器還可用于測量深色、漫射材料，以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達 100 毫米），從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。此外，傳感器的傾斜角度已顯著增加，這在測量變化的表面特征時提供了更好的性能。光譜共焦技術可以實現(xiàn)對樣品的定量分析。點光譜共焦測量儀

光譜共焦技術具有軸向按層分析功能；高精度光譜共焦制造公司

光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務而設計的，通常應用于研發(fā)任務、實驗室和醫(yī)療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量以外，這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達100毫米），從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。另外，傳感器的傾斜角度已顯著增加，這在測量表面特征的變化時帶來更好的性能 。高精度光譜共焦制造公司