什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），上海轉(zhuǎn)子流量計， 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器， 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）， 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，轉(zhuǎn)子流量計哪里有，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置， 是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。

當(dāng)流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現(xiàn)，所以實際應(yīng)用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當(dāng)用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴(kuò)大量程范圍。

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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，轉(zhuǎn)子流量計價格， 在工作的過程當(dāng)中， 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降， 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時， 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓， 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)， 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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