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使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)開(kāi)展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,氣體流量控制器報(bào)價(jià),還要使用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對(duì)MFC進(jìn)行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,氣體流量控制器,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調(diào)節(jié)閥,雖然可以起到一定的流量調(diào)節(jié)作用,但無(wú)法做到準(zhǔn)確,穩(wěn)定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調(diào)節(jié)閥的基礎(chǔ)上增加了控制電路和流量檢測(cè)傳感器和比例分流,是可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制,并且可以將流量信號(hào)穩(wěn)定持續(xù)輸出成電壓信號(hào)或電流信號(hào),比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過(guò)濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器,如果流量計(jì)出口接有液體源瓶,氣體流量控制器多少錢(qián),應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計(jì)。
2 使用腐蝕性氣體
流量計(jì)通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí),應(yīng)在定貨時(shí)聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
3 安裝位置問(wèn)題
本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平,但對(duì)位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移,可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問(wèn)題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(zhǎng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。
5 標(biāo)定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定,需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí),可以通過(guò)附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。
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