氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，氣體流量控制廠家，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，也不會使其偏移設(shè)定值。簡易地說，質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設(shè)備， 是一個可以手動式設(shè)置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。

使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項

1.怕粉塵， 若粉塵進到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會阻塞傳感器和分流器， 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差， 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置; 

2.怕液體和油漬進到MFC， 一旦有液體進入到MFC內(nèi)部會導(dǎo)致無法控制，所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置， 假如MFC的出口接有液體罐， 也要在MFC出口再加上單向閥， 避免液體流回; 

3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體， 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹， 導(dǎo)致MFC通道毀壞， 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前， 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對管路進行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，氣體流量控制，等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。

4.怕在應(yīng)用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實際操作， 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。 

5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預(yù)熱，保證MFC在不通氣時，瞬時流量處于0的位置，如果不通氣時，氣體流量控制公司，瞬時流量顯示有一定的數(shù)值，氣體流量控制報價，表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象，可以先對MFC進行調(diào)零處理，否則將影響MFC的精度。

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