怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說，在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國內(nèi)計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）， 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI。

儀表主要特點

可編程輸入規(guī)格，流量輸入信號可編程為1～5V、0～5V、4～20mA及頻率等。溫度信號可編程輸入為Pt100熱電阻、K、E、J型熱電偶或標準電流信號，壓力信號可為標準電壓或電流信號。

可安裝AI系列儀表各種通用模塊及豐富的可編程功能，可實現(xiàn)瞬時流量、溫度及壓力的上、下限報警功能，并具備變送輸出、通訊、24V/12V電壓輸出等多種功能。

具有8位累積器及4位瞬時測量值顯示，可選擇開方/不開方處理及設(shè)置任意范圍的小信號切除功能。

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積算儀通信標準的差異

通信標準的差異 國產(chǎn)流量顯示儀表通信口一般為RS-232或RS-485現(xiàn)場總線標準，但國外早期產(chǎn)品有一些為RS-422等其他標準，流量顯示儀，近期推出的產(chǎn)品基本上也已統(tǒng)一為RS-232或RS-485標準。有的還可提供FF現(xiàn)場總線等接口。電磁兼容性等指標的差異 有些國外制造商在產(chǎn)品的電磁兼容等環(huán)境適應(yīng)性方面也做了很多工作。例如FOXBORO公司的75系列流量顯示儀表，其射頻電磁場輻射抗擾度指標定為3V／m，27～1000MHz，而其塵密水密性指標定為IP65。這兩項試驗，國產(chǎn)流量顯禾儀表基本上沒有開展。

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