微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸。1，開放/關(guān)閉速度LCD顯示；2，當(dāng)閥門或泵錯誤時，燈點亮：3，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流；4，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號；5，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作；6，無噪音，功耗低；7，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等；8，UPS功能（1秒），微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥、VAT閘閥。閘閥多應(yīng)用于石油、天然氣等輸送管線上，在半導(dǎo)體加工工程設(shè)備上也多用閘閥。極高真空閘閥手動閥

插板閥應(yīng)用范圍廣泛，主要包括以下領(lǐng)域：1.化工行業(yè)：用于管道、容器等設(shè)備的介質(zhì)控制，如石油、天然氣、化工產(chǎn)品等。2.礦山行業(yè)：用于礦井通風(fēng)、排水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。3.食品行業(yè)：用于食品生產(chǎn)、加工過程中的介質(zhì)控制，保證食品安全。4.冶金行業(yè)：用于高溫、高壓、腐蝕性介質(zhì)的控制。5.紡織行業(yè)：用于織物生產(chǎn)過程中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。6.造紙行業(yè)：用于造紙過程中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。7.水處理行業(yè)：用于污水處理、供水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。8.熱力行業(yè)：用于火力發(fā)電廠、供熱系統(tǒng)中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。9.建筑行業(yè)：用于建筑給排水、供暖、空調(diào)系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。10.其他行業(yè)：如環(huán)保、交通、能源等領(lǐng)域。低真空閘閥ALUMINUM GATE VALVE介質(zhì)可向兩側(cè)任意方向流動，易于安裝。閘閥通道兩側(cè)是對稱的。

定期清潔閥門表面，保持閥門光滑無污垢；檢查閥體和閥桿是否有磨損或損壞，如有需要及時更換；檢查密封面是否完好，如有損壞要及時修理或更換；定期檢查閥門開關(guān)是否靈活，如有卡澀現(xiàn)象要及時潤滑；檢查閥體和閥桿的連接部位，確保螺栓緊固；在保養(yǎng)過程中，注意安全操作，防止意外傷害。閘閥是一種用于控制流體流動的閥門，通常用于管道中，以實現(xiàn)流體的開啟、關(guān)閉或調(diào)節(jié)流量。它的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)或升降閘板來截斷或?qū)б黧w流動。根據(jù)不同的應(yīng)用場景，閘閥可以分為多種類型，如手動閘閥、電動閘閥、氣動閘閥等。插板閥是一種用于控制流體介質(zhì)的流動方向的閥門，其主要特點是結(jié)構(gòu)簡單、啟閉迅速、密封性能好，廣泛應(yīng)用于石油、化工、水處理等領(lǐng)域。

閘閥又稱插板閥是一種管道控制設(shè)備，主要用于截斷或接通介質(zhì)流。其主要應(yīng)用于以下場合：1.物料輸送系統(tǒng)中的管道切換2.粉塵、顆粒狀物料的輸送管道3.化工行業(yè)的腐蝕性介質(zhì)管道4.礦山、冶金行業(yè)的物料輸送5.水處理系統(tǒng)的介質(zhì)隔離6.燃?xì)狻⒖諝獾葰怏w的管道控制7.環(huán)保設(shè)備的尾氣處理系統(tǒng)8.燃料供應(yīng)系統(tǒng)的介質(zhì)切換9.紡織、制藥等行業(yè)中的特殊介質(zhì)管道10.建筑工地、船舶等移動設(shè)備的管道系統(tǒng)控制。插板閥是一種用于控制流體管道中流量和壓力的閥門，通過插入或拔出閥門上的插板來開啟或關(guān)閉管道。它廣泛應(yīng)用于工業(yè)、建筑、化工等領(lǐng)域。真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時的高真空完整性，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案，真空插板閥品牌—微泰?？刂葡到y(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥、多位置閘閥使用氣動控制操作。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦。超大型真空閘閥TRANSFER VALVE

微泰，高壓閘閥應(yīng)用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。極高真空閘閥手動閥

微泰，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。極高真空閘閥手動閥