注意事項(xiàng)

除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無(wú)人繼續(xù)使用，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān)、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)隨手關(guān)掉。處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，請(qǐng)立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15"。石英玻璃制品請(qǐng)小心使用，以免斷裂，引起嚴(yán)重割傷。避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。qing化鉀(KCN)不可與酸類(lèi)混置，因兩者可產(chǎn)生劇i毒之KCN氣體。一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí)，請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。請(qǐng)節(jié)約純水用量。破晶片、濾紙、棉花棒，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒(méi)使用到時(shí)，請(qǐng)朝上以免污染。晶片進(jìn)出爐口時(shí)，真空氣氛高溫爐，請(qǐng)勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

高溫電爐的保養(yǎng)技巧都有哪些

電爐和操控器運(yùn)用時(shí)，均不得超越額外功率，爐溫不得超越額外運(yùn)用溫度，制止將濕潤(rùn)工件裝入爐膛內(nèi)，含有超高水分的被加熱工件應(yīng)預(yù)先烘干，堅(jiān)持爐膛底細(xì)清潔，對(duì)爐內(nèi)的金屬氧化物、溶渣和雜質(zhì)等應(yīng)及時(shí)鏟除，裝卸工件時(shí)應(yīng)慎重，以防碰壞硅碳棒。

硅碳棒應(yīng)放在枯燥處，以防鋁頭受潮蛻變。在運(yùn)用時(shí)如發(fā)現(xiàn)有的棒熾白，有的暗紅，闡明各棒的電阻改變不同，需換上電阻值近似的棒今后再?gòu)念^運(yùn)用。硅碳棒系碳化硅的再結(jié)晶制品，堿、堿金屬、硫酸及硼化合物在高溫下對(duì)它能起腐蝕效果。

高溫爐洗爐步驟： 1.使用保護(hù)氣體驅(qū)除爐內(nèi)空氣： （1）在電爐預(yù)熱之前，一般應(yīng)將保護(hù)氣體引入爐內(nèi); （2）保護(hù)氣體可以通過(guò)上，下和后洗滌爐口。 排氣口的針閥應(yīng)打開(kāi)大尺寸，以便盡快的排出爐內(nèi)空氣; （3）通常，將約10倍體積爐的保護(hù)氣體引入爐內(nèi)，使?fàn)t內(nèi)的氧濃度降至約10ppm; （4）當(dāng)爐內(nèi)氧氣濃度滿足產(chǎn)品工藝要求時(shí)，可關(guān)閉排氣口針閥，節(jié)約保護(hù)氣體，關(guān)閉爐口，進(jìn)氣口用于通過(guò)流量計(jì)進(jìn)入 ; （5）在使用電爐的過(guò)程中，須在爐內(nèi)保持正壓，以防止外部空氣進(jìn)入爐內(nèi)。

 2.真空泵預(yù)真空方式： （1）將任何一個(gè)出風(fēng)口連接到真空軟管; （2）預(yù)先清空爐腔; （3）獲得保護(hù)氣體; （4）對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)真空。

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