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壓電陶瓷執(zhí)行器因其體積小、位移分辨率高、響應(yīng)速度快、輸出力大、換能效益高等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡、自適應(yīng)
/主動(dòng)光學(xué)元件、納米定位、振動(dòng)控制、聲學(xué)、聲納、微流體輸送等領(lǐng)域中[1]。對(duì)于壓電陶瓷穩(wěn)定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅(qū)動(dòng)電源,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源技術(shù)己成為目前壓電陶瓷執(zhí)行器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一[2]。
如超聲波傳感器,一個(gè)復(fù)合式振動(dòng)器被靈活地固定在底座上。該復(fù)合式振動(dòng)器是諧振器以及,由一個(gè)金屬片和一個(gè)壓電陶瓷片組成的雙壓電晶片元件振動(dòng)器的一個(gè)結(jié)合體。諧振器呈喇叭形,目的是能有效地輻射由于振動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波,并且可以有效地使超聲波聚集在振動(dòng)器的中央部位。如超聲波傳感器,淮南壓電陶瓷片,一個(gè)復(fù)合式振動(dòng)器被靈活地固定在底座上。該復(fù)合式振動(dòng)器是諧振器以及,由一個(gè)金屬片和一個(gè)壓電陶瓷片組成的雙壓電晶片元件振動(dòng)器的一個(gè)結(jié)合體。諧振器呈喇叭形,目的是能有效地輻射由于振動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波,并且可以有效地使超聲波聚集在振動(dòng)器的中央部位。
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