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20 世紀(jì) 80 年代,電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動(dòng)特種氣體的需求提高,電子特種氣體,隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入,特種氣體廠,國(guó)內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車(chē)間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨(dú)立的氣體公司,國(guó)內(nèi)特種氣體市 場(chǎng)逐步發(fā)展起來(lái)。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體分類(lèi):從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。
特種氣體分類(lèi):高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,對(duì)于不同類(lèi)別的氣體,純度指標(biāo)不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;滅菌特種氣體由于它的活潑型,殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣,滁州特種氣體,對(duì)物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn),已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一,特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用:非晶硅太陽(yáng)能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時(shí),儲(chǔ)存場(chǎng)所需要經(jīng)過(guò)縣級(jí)以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲(chǔ)存場(chǎng)所出入口及顯眼處,需設(shè)有安全警示牌。特種氣體分類(lèi):從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):根據(jù)儲(chǔ)存的氣體類(lèi)型設(shè)置標(biāo)牌,如“嚴(yán)禁明火”、“危險(xiǎn)”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。
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