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隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,集成電路設(shè)計(jì)行業(yè)一直呈現(xiàn)持續(xù)增長(zhǎng)的勢(shì)頭。我國(guó)的集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)雖起步較晚,但憑借著巨大的市場(chǎng)需求、經(jīng)濟(jì)的穩(wěn)定發(fā)展和有利的政策環(huán)境等眾多優(yōu)勢(shì)條件,已成為集成電路設(shè)計(jì)行業(yè)市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力。我國(guó)大陸集成電路產(chǎn)業(yè)雖起步較晚,但經(jīng)過20年的飛速發(fā)展,集成電路產(chǎn)業(yè)從無到有,從弱到強(qiáng),已經(jīng)在集成電路市場(chǎng)占據(jù)舉足輕重的地位。
由于技術(shù)原因和制造工序的復(fù)雜程度高,集成電路制造是對(duì)潔凈度整體要求高的行業(yè)。集成電路由于技術(shù)的復(fù)雜程度與日俱增,對(duì)于空氣潔凈度的要求也越來越高,重要工藝區(qū)需保持1-4級(jí)的潔凈度。而其他大部分行業(yè)比如食品制造,藥品,千級(jí)凈化廠房設(shè)計(jì),醫(yī)學(xué)等行業(yè)對(duì)潔凈度的要求大多在5-9級(jí),千級(jí)凈化廠房,遠(yuǎn)低于集成電路和新型顯示對(duì)潔凈度的要求。隨著技術(shù)的進(jìn)步,千級(jí)凈化廠房施工,集成電路對(duì)潔凈度的要求越來越高。
設(shè)計(jì)條件(設(shè)計(jì)參數(shù)):潔凈車間溫度要求20℃~25℃;濕度要求45%~65%;潔凈要求10000級(jí)。廠房平面布置:空調(diào)末端采用高效過濾器;潔凈空調(diào)機(jī)設(shè)在模條房,千級(jí)凈化廠房裝修,樓板承重必須符合設(shè)備運(yùn)行負(fù)荷要求。a、潔凈區(qū)域:潔凈車間潔凈度1萬級(jí)面積約110m2;潔凈前區(qū)設(shè)人員換鞋區(qū)、更衣室、風(fēng)淋室等,隔離外界污染。潔凈區(qū)人員流動(dòng)方向:換鞋、一次更衣---風(fēng)淋室---潔凈車間。在凈化車間設(shè)安全門,便於人員疏散。(進(jìn)入風(fēng)淋室前需作一道空氣過濾)潔凈區(qū)物料流動(dòng)方向:傳遞窗---潔凈車間---傳遞窗---其它工序;b、其它區(qū)域:由甲方自行負(fù)責(zé),不在本設(shè)計(jì)方案范圍內(nèi)。
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