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如何通過質(zhì)量流量控制器判斷有沒有氣體通過?
可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過的,氣體質(zhì)量流量控制器報價,不過需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內(nèi),也可以用手將出氣口堵死,觀察瞬時流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過,此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。
氣體質(zhì)量流量控制器特點
利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當(dāng)流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機械加工技術(shù),能實現(xiàn)微小流量測量和控制,其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,氣體質(zhì)量流量控制器哪家好,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制
氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等,氣體質(zhì)量流量控制器廠家, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高,氣體質(zhì)量流量控制器, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
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