氣體質量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質量流量控制器在進出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬肕FC時， 無論客戶工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應保證MFC進出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

如何通過質量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進水里，氣體質量控制器報價，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。

通訊方式的熱式氣體質量流量控制器

在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體質量控制器公司，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，氣體質量控制器，來測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

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