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氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應(yīng)在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),熱式質(zhì)量控制器多少錢,SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當?shù)臈l件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時,應(yīng)在定貨時聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
3 安裝位置問題
本控制器安裝時建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點偏移,可以調(diào)整零點后在工作。
4 閥口密封問題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進出氣口各加一個截止閥,以保證工作安全。長期工作后,熱式質(zhì)量控制器公司, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進行維修。
5 標定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時與銷售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時,熱式質(zhì)量控制器哪家好,可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進行換算。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體,熱式質(zhì)量控制器, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,還容易產(chǎn)生危險。
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道,其中很小一部門進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫,里面的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等,這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。
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