什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，電磁流量計(jì)哪家好，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，智能電磁流量計(jì)哪家好，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽，流量計(jì)哪家好， 氣壓很低， 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源， 氣壓很低， 用普通MFC， 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明， 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC， 這時(shí)MFC的工作壓差范圍， 也會(huì)變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí)， 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露， 結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露， 可以對管路和MFC適當(dāng)加溫， 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上， 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程， 在工作的過程當(dāng)中， 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降， 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí)， 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓， 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)， 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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