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1、差壓法氣密性檢測(cè)原理:差壓法氣密性檢測(cè)是利用氣體流量公式通過(guò)測(cè)量容器內(nèi)壓力的變化來(lái)計(jì)算泄漏量的檢測(cè)方法。密閉的容器由于泄漏,必然造成容器內(nèi)氣體質(zhì)量的流失,石墨雙極板,使得容器內(nèi)原有的壓力減低,湖州板,因此可以通過(guò)測(cè)量容器內(nèi)氣體壓力降低的數(shù)值計(jì)算出實(shí)際容器泄漏的氣體量。差壓法氣密性檢測(cè)的工作循環(huán)包括4個(gè)過(guò)程,即充氣過(guò)程、平衡過(guò)程、檢測(cè)過(guò)程和排氣過(guò)程。(1)充氣過(guò)程:將系統(tǒng)壓力調(diào)定到測(cè)試壓力,打開充氣閥、測(cè)漏閥,標(biāo)準(zhǔn)容器和被測(cè)工件充入壓力等于測(cè)試壓力的壓縮空氣,由于氣體流動(dòng)的影響,此時(shí)系統(tǒng)內(nèi)部壓力、溫度都會(huì)波動(dòng),必須持續(xù)充氣直至標(biāo)準(zhǔn)容器、被測(cè)工件充氣完全。
嚴(yán)格地講,任何真空系統(tǒng)都有漏氣現(xiàn)象存在,漏氣是一定的。針對(duì)不同的真空系統(tǒng),可以容許有一定的漏率。目前的真空技術(shù),可以確保超高真空系統(tǒng)的容許漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空檢漏已經(jīng)成為真空系統(tǒng)制作和使用中不可缺少的環(huán)節(jié)。真空檢漏的方法多種多樣,比較具代表性的氦質(zhì)譜檢漏和四極質(zhì)譜儀殘留氣體分析。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏原理及方式:氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式,金屬雙極板價(jià)格,氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。逆擴(kuò)散原理:逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,雙極板價(jià)格,氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)300Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
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