真空泵分子泵

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，隔膜真空泵，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

真空泵選型

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到佳配置，選擇真空系統(tǒng)時，隔膜真空泵供應商，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

導致真空機組壓力低的主要原因      

伴隨著城市規(guī)劃建設的迅速發(fā)展，如今真空機組早在各種項目上普遍應用，隔膜真空泵報價，優(yōu)點多多獲得了大家認同，對于產品性能要求比較高為了更好的運用，下面咱們一起了解下關于導致真空機組壓力低的主要原因有哪些吧。

一旦真空泵機組的壓力過低，不僅會導致機組無法正常啟動，還會對機組產生一些不良影響。因此，當發(fā)現機組壓力過低時，必須及時查明壓力低的原因，如果真空泵機組沒有注水或適當排氣，可以檢查泵殼和入口管道是否充滿液體，吸力過高，檢查現有凈壓頭。系統(tǒng)水頭過高，檢查系統(tǒng)水頭，速度過低，檢查電機接線是否正確，電壓是否正常，透平蒸汽壓力是否正常。

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