LPE的硅外延層，以其良好的電學、光學及其生長特性，二手1260液相設備，而在CVD無法勝任的領域應用前景誘人.目前，取得較為成功的方面有:(1)垂直溝道的場控制器件中的埋柵制造及溝道的外延再填;(2)太陽能電池;(3)超晶格器件;(4)三維集成技術 [1]  .場控制器件：CVD在硅器件的埋結制造中，因自摻雜而出現(xiàn)埋層尺寸增加，密排柵極叉指制造也受到嚴重影響，二手1260液相設備供應商，而LPE因其可以消除自摻雜，而在這方面得到應用，尤其對硼擴散的埋柵區(qū)域的埋結制造，其優(yōu)點更為明顯 [1]  .




1.常見色譜故障——壓力波動可能原因：溶劑進口過濾芯堵塞；溶劑未脫氣；泵的密封墊老化；出口單向閥失效；主動閥失效。常見原因：泵內有氣泡2.常見色譜故障——壓力過低可能原因：溶劑進口過濾芯堵塞；連接管路泄漏或其它備件（泵頭密封墊）；溶劑或流速改變；主動閥失靈；四元比例閥失靈；單向出口閥失靈；色譜柱失效（固定相流失）。




與其他外延方法相比；它具有如下的優(yōu)點：1）生長設備比較簡單，二手1260液相設備哪里有，；2）有較高的生長速率；3）摻雜劑選擇范圍廣；4）晶體完整性好，外延層位錯密度較襯底低；5）晶體純度高，生長系統(tǒng)中沒有和強腐蝕性的原料及產物，操作安全、簡便等。LPE的不足在于，當外延層與襯底晶格常數差大于1%時，二手1260液相設備怎么用，不能進行很好的生長。其次，由于分凝系數的不同，除生長很薄的外延層外，在生長方向上控制摻雜和多元化合物組合均勻性遇到困難。再者LPE的外延層表面一般不如氣相外延好。




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