C1、C2的工作原理是通過(guò)改變聚光透鏡線圈中的電流，來(lái)達(dá)到改變透鏡所形成的磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化，磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化（亦即折射率發(fā)生變化）能使電子束的會(huì)聚點(diǎn)上下移動(dòng)，在樣品表面上電子束斑會(huì)聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑發(fā)散，照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過(guò)調(diào)整聚光鏡電流來(lái)改變照明亮度的方法，實(shí)際上是一個(gè)間接的調(diào)整方法，亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度，只有通調(diào)整前面提到的電子qiang中的柵極偏壓，才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動(dòng)光闌，用以改變光束照明的孔徑角，一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域，透射電鏡連續(xù)切片三維重構(gòu)檢測(cè)服務(wù)，使樣品上無(wú)需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷；另一方面也能減少散射電子等不利信號(hào)帶來(lái)的影響。



在性能較高的透射式電鏡中，大多采用上述側(cè)插式樣品臺(tái)，為的是大限度地提高電鏡的分辨能力。次的電鏡可以配備多種式樣的側(cè)插式樣品臺(tái)，某些樣品臺(tái)通過(guò)金屬聯(lián)接能對(duì)樣品網(wǎng)加熱或者致冷，以適應(yīng)不同的用途。樣品是先盛載在銅網(wǎng)上，然后固定在樣品臺(tái)上的，樣品臺(tái)與樣品握持桿合為一體，是一個(gè)非常精巧的部件。樣品桿的中部有一個(gè)“O”形橡膠密封圈，膠圈表面涂有真空脂，以隔離樣品室與鏡體外部的真空（兩端的氣壓差極大，比值可達(dá)10～10）?！悠肥业纳舷码娮邮ǖ栏髟O(shè)了一個(gè)真空閥，用以在更換樣品時(shí)切斷電子束通道 ，只破壞樣品室內(nèi)的真空，而不影響整個(gè)鏡筒內(nèi)的真空，這樣在更換樣品后樣品室重又抽回真空時(shí)，可節(jié)省許多時(shí)間。當(dāng)樣品室的真空度與鏡筒內(nèi)達(dá)到平衡時(shí)， 再重新開啟與鏡筒相通的真空閥。

像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框，束斑可以看成是一個(gè)衍射波，中間呈類似高斯分布，只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時(shí)束斑的大小是大于像素的。

而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運(yùn)動(dòng)，只要不同像素點(diǎn)覆蓋區(qū)域的電子產(chǎn)額能夠被探測(cè)器有效處理和區(qū)分，那電鏡圖片也就能區(qū)分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細(xì)節(jié)的，而有點(diǎn)地方說(shuō)掃描電鏡不能區(qū)分比束斑更小的說(shuō)法是不夠嚴(yán)密的。束斑是單點(diǎn)像素1.3～2倍左右，都是匹配的條件。

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