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真空環(huán)境的建立:同樣需要在真空室內(nèi)創(chuàng)建一個(gè)高度控制的真空環(huán)境。
濺射過程:將靶材置于濺射源中,通過磁控濺射或射頻濺射等方式,使高能離子撞擊靶材表面,使其原子或分子濺射出。濺射出的原子或分子在真空中飛行,并沉積在基材表面形成薄膜。
膜層的生長(zhǎng):通過控制濺射源的功率、靶材的成分和基材的溫度等參數(shù),可以調(diào)控膜層的生長(zhǎng)速度和成分分布,氣相沉積工廠在哪,從而獲得所需的光學(xué)性能。
后處理:與熱蒸發(fā)法類似,濺射法鍍膜后也可能需要進(jìn)行后處理以改善膜層的性能
基材夾持系統(tǒng):在真空環(huán)境下,使用基材夾持系統(tǒng)固定基材并控制其位置?;牡奈恢煤徒嵌葘?duì)鍍膜質(zhì)量有重要影響,氣相沉積,因此需要控制。
沉積過程:蒸發(fā)的有機(jī)高分子材料氣態(tài)物質(zhì)在基材表面冷凝或沉積形成薄膜。這個(gè)過程可能受到溫度、真空度、蒸發(fā)速率等多種因素的影響,氣相沉積技術(shù)哪家強(qiáng),因此需要控制這些參數(shù)以獲得理想的鍍膜效果??刂葡到y(tǒng):鍍膜設(shè)備通常配備有的控制系統(tǒng),用于監(jiān)控和調(diào)節(jié)鍍膜過程中的各項(xiàng)參數(shù)。這些參數(shù)包括溫度、真空度、蒸發(fā)速率、膜層厚度等。通過控制這些參數(shù),可以獲得均勻、致密、性能優(yōu)良的有機(jī)高分子鍍膜。
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