儀器檢測過程：通過機械手將待檢的玻璃基板平放至儀器的上料平臺，觸發(fā)上料信號進行上料動作，上料動作完成。由氣缸及電磁閥對玻璃基板進行夾持固定，并由主軸電機拖動其勻速經(jīng)過 CCD 陣列掃描成像，三角雙目視覺檢測，等待圖形處理結果，若有缺陷則由主軸電機拖動其運動到指1定位置完成復檢，若待測基板存在多個缺陷，雙目視覺檢測報價，則需進行多次復檢，復檢完成將玻璃基板拖動至下料區(qū)，夾持固定放開，進行下料過程。若玻璃基板無缺陷則由主軸電機直接拖動其運動到下料區(qū)，夾持固定放開，完成下料。

六.自動光學檢測用于檢查微孔質(zhì)量

孔金屬化前激光鉆孔后，或金屬化孔后微孔是可以檢查的?？捉饘倩蠼?jīng)過AOI檢查，所獲取的信息證實孔內(nèi)鍍層覆蓋的完整性，雙目視覺檢測廠家，而不是金屬與焊盤的結合狀態(tài)。如果首道工序要求進行蝕刻，激光鉆孔前進行銅導體進行敷形掩膜，于是在鉆孔前需要對敷形掩膜附加檢查步驟。檢查鉆孔后的環(huán)氧鉆污，就是根據(jù)圖形暗(非反射)環(huán)形的工藝特性采用反射的模式進行檢查。反射的中心目標是帶有銅的焊盤，雙目視覺檢測廠，即微孔的底部。而墨暗的凹處是介質(zhì)材料本身的邊壁而不是金屬化鍍層，俯視到是外層發(fā)光的范圍內(nèi)表面是銅。

線陣相機是逐行掃描方式取像，面陣相機的優(yōu)點是圖像的還原性較好，打光角度容易調(diào)整，還容易得到較清晰的圖像，因而市面上的AOI自動光學檢測儀絕大多數(shù)廠商使用這類相機。線陣相機的圖像還原性較差，打光的角度難以調(diào)整，是目前誤判率高的AOI自動光學檢測儀，采用這類相機的AOI自動光學檢測儀的唯①優(yōu)點是檢測的速度相對快一點，但檢測小板時它的檢測速度又要相對而言慢一些，因此，對相機的選擇應該盡量選擇面陣相機。

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