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鹵族元素指周期系ⅦA族元素。包括氟(F)、氯(Cl)、*(Br)、碘(I)、砹(At)，簡(jiǎn)稱鹵素。它們?cè)谧匀唤缍家缘湫偷柠}類存在 ，是成鹽元素。

鹵族元素的單質(zhì)都是雙原子分子，它們的物理性質(zhì)的改變都是很有規(guī)律的，隨著分子量的增大，鹵素分子間的色散力逐漸增強(qiáng)，顏色變深，它們的熔點(diǎn)、沸點(diǎn)、密度、原子體積也依次遞增。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

定位方法

采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開(kāi)，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，英?？礲pg400真空計(jì)調(diào)試，英?？岛べ|(zhì)譜檢漏儀價(jià)格，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，英福康氦質(zhì)譜檢漏儀公司，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。

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危害熱陰極水解真空計(jì)測(cè)量低值的原因是什么？怎樣改善？

答：電子器件打進(jìn)搜集極上造成軟X射線輻射源，正離子搜集極消化吸收了軟X射線會(huì)造成光電材料發(fā)送，從而產(chǎn)生的電子器件電流量恰好與正離子電流的方向一致，故累加在一起，但此電流量與工作壓力不相干，當(dāng)工作壓力下降到產(chǎn)生的電離電流量顯著低于光電流時(shí)，搜集極的離子流便不會(huì)再隨工作壓力轉(zhuǎn)變，即抵達(dá)測(cè)量低值。擴(kuò)大離子流，減少光電流可以使測(cè)量低值的擴(kuò)展。

薄膜電容規(guī)

在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過(guò)測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。

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INFICON B-A 型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)， BPG400， 將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡(jiǎn)單小型的單元內(nèi)， 測(cè)量范圍從 5 x 10-10毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝， 設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的 BPG400 用于普及和可再現(xiàn)過(guò)程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量.

用 途

■ 半導(dǎo)體工藝過(guò)程和傳輸室中的壓強(qiáng)測(cè)量

■ 工業(yè)鍍膜

■ 從低至超高真空范圍的一般真空測(cè)量和控制

按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。

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