氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因為選型或選擇密封材料錯誤，空氣流量控制器公司， 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，空氣流量控制器廠家， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高， 通常要求不高的場合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體，空氣流量控制器， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，空氣流量控制器多少錢，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，也不會使其偏移設(shè)定值。簡易地說，質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設(shè)備， 是一個可以手動式設(shè)置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

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