氣體質(zhì)量流量控制器在真空鍍膜機(jī)中的使用

真空鍍膜機(jī)中經(jīng)常使用到的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是用來控制氣體的進(jìn)氣量，把氣體流量準(zhǔn)確的輸入到真空腔室內(nèi)。AC-S030C系列的氣體質(zhì)量流量控制器主要是用于控制微小流量的氣體，采用全新的制作工藝，廣東質(zhì)量式流量計(jì)，是在20℃，1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)

熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。

質(zhì)量流量控制器

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，形成薄膜。

流量控制器的作用

鋼包吹氬處理又稱剛液吹氬處理，是一種簡易的鋼液脫氣和去除非金屬夾雜物的爐外精煉方法。這種方法工藝簡單，設(shè)備便宜，精煉效果明顯。依據(jù)所需處理鋼液在常溫下的組織以及處理目的的不同，吹入鋼液的氣體，可以選用氬氣、氮?dú)?、水蒸氣、空氣，或先吹入氮?dú)?、水蒸氣、空氣，然后再吹入氬氣。鋼液吹氬處理有重要的冶金意義。

使用LF系列氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行鋼包吹氬的方式有兩種：一種鋼包底吹，一種鋼包頂吹。鋼包吹氬受壓力的影響。吹氬壓力越大，攪動力越大，氣泡上升越快。但吹氬壓力過大，氬氣流涉及范圍就越來越小，甚至形成連續(xù)氣泡柱，質(zhì)量式流量計(jì)廠家，而且容易造成鋼包液面劇烈翻滾，鋼液大量露在與空氣接觸造成二次氧化和降溫。鋼渣相混，被擊碎乳化的爐渣入鋼水深處，使夾雜物含量增加。所以很大壓力以不沖破渣層露出液面為限。壓力過小，攪拌能力弱，吹氬時(shí)間延長，甚至造成透氣磚堵塞。

所以壓力過大過小都不好，理想的吹氬壓力是使氮?dú)饬鞅椴颊麄€(gè)鋼包，氬氣泡在鋼液內(nèi)呈均勻分布。萊峰流體氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

能準(zhǔn)確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。不管是在鋼包底吹還是鋼包頂吹都能很好的控制氬氣均勻的注入，使鋼液在澆注前成分、溫度均勻，實(shí)現(xiàn)連鑄工藝正?；?，提高鋼材沖擊韌性等。

數(shù)字型和模擬型的流量控制器的控制方法

熱式流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的流量儀表。即利用流體流過發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當(dāng)流體流動時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。

它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，質(zhì)量式流量計(jì)公司，電加熱消耗的能量，質(zhì)量式流量計(jì)多少錢，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)，根據(jù)它的信號傳輸模式可以分為：模擬型和數(shù)字型兩種。國產(chǎn)的產(chǎn)品中，模擬型分為電壓（0-5V或0-10V，每個(gè)廠家與廠家之間可能會有稍微的差異）和電流（4-20mA或0-20mA）；數(shù)字型的主要還是市場上傳統(tǒng)的RS485 modbus協(xié)議或RS232 （國外的產(chǎn)品還可選perfnet或是總線方式）。用戶主要是通過采集數(shù)據(jù)信號，來進(jìn)行的氣體流量的檢測，以及設(shè)定數(shù)據(jù)信號值，來達(dá)到調(diào)節(jié)和開啟截止閥門的開度，從而控制氣體的流量。

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