體積流量的表示方法

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，流體系統(tǒng)控制單元，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）， 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI。

以上內(nèi)容由曉韜科技為您提供，今天我們分享的是流體系統(tǒng)控制單元的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)有需要的朋友能有所幫助！

 使用質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)

使用質(zhì)量流量控制器有四怕:

怕粉塵， 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器， 造成測(cè)量誤差， 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;

第二怕液體和油污進(jìn)入MFC， 會(huì)造成失控， 如果MFC的出口接有液體罐， 需要在MFC出口加上單向閥，流體系統(tǒng)控制單元報(bào)價(jià)， 防止液體回流;

第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體， 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹， 造成MFC通道損壞， 因此要求在使用腐蝕性氣體前， 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;

第四怕在使用強(qiáng)腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作， 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。

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選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問(wèn)題也比較多，流體系統(tǒng)控制單元價(jià)格，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請(qǐng)向廠家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問(wèn)題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大，流體系統(tǒng)控制單元哪家好，則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。

期望大家在選購(gòu)流體系統(tǒng)控制單元時(shí)多一份細(xì)心，少一份浮躁，不要錯(cuò)過(guò)細(xì)節(jié)疑問(wèn)。想要了解更多流體系統(tǒng)控制單元的資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！

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