氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，氣體流量控制報(bào)價(jià)，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。

2 使用腐蝕性氣體

流量計(jì)通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2)，SUS417J1（00Cr30Mo2）， 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。

3 安裝位置問題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥， 不是截止閥， 不能當(dāng)截止閥使用， 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長期工作后，氣體流量控制公司， 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi)， 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%， 則應(yīng)進(jìn)行維修。

5 標(biāo)定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，氣體流量控制多少錢，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。

氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒有顆粒物， 沒有液體， 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。

2，氣體流量控制，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn)， 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng)， 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無效，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號(hào)輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。

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