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雙螺和多螺下面以三螺桿為例。它主要是由固定在泵體中的襯套（泵缸）以及安插在泵缸中的主動螺桿和與其嚙合的兩根從動螺桿所組成。三根互相嚙合的螺桿，EGE光電傳感器，在泵缸內(nèi)按每個導(dǎo)程形成為一個密封腔，造成吸排口之間的密封。

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由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。

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螺桿泵工作時，兩端分別作用著液體的吸排壓力，因此對螺桿要產(chǎn)生軸向推力。對于壓差小于10千克力/cm2 的小型泵，可以采用止推軸承。此外，還通過主動螺桿的中央油孔將 高壓油引入各螺桿軸套的底部，從而在螺桿下端產(chǎn)生一個與軸向推力方向相反的平衡推力。

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