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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空泵
安捷倫DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求,安捷倫真空泵TV301保養(yǎng)廠家,所有的泵均具有UL和CSA認(rèn)證。安捷倫的技術(shù)支持機(jī)構(gòu)確保DS系列旋片泵具有的,且能夠適合于絕大多數(shù)應(yīng)用。安捷倫提供抽速從1.8m三次方/h到25m三次方/h小時的系列雙極油泵,同時還提供“智能”的HS系列變頻泵。
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由于鈦升華泵或吸氣劑泵可以提供很大的抽速,在 UHV 系統(tǒng)中,通常使用鈦升華泵或者吸氣劑泵作為泵送活性氣體(如氦氣和氮?dú)猓┑挠行侄?,但是,鈦升華泵或者吸氣劑泵對非活性氣體(如氣和)幾乎沒有抽速。由于 Starcell 三極離子泵對非活性氣體有較好的抽氣作用,通常將 TSP 或 NEG 與 Starcell 結(jié)合使用。安捷倫可以提供與鈦升華泵復(fù)合的 CombiTSP 離子泵或與吸氣劑泵復(fù)合的 CombiNEG 離子泵。
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分子泵市場
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,安捷倫真空泵TV902保養(yǎng)公司,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。
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油池安裝注意事項 ?、?、拆油
②、油量控制
③、油池衛(wèi)生,防顆粒
④、對好、對稱上緊螺釘,荔灣區(qū)安捷倫真空泵,防止有漏
潽拓——安捷倫真空泵,分子泵
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企業(yè): 廣州潽拓光電科技有限公司
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