氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大， 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較， 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源， 設(shè)定電位器， 和三位閥控開關(guān)等。

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因為選型或選擇密封材料錯誤， 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高， 通常要求不高的場合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過濾器

使用氣體必須純凈干燥，數(shù)字質(zhì)量控制器多少錢，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，數(shù)字質(zhì)量控制器報價，如果流量計出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2)，SUS417J1（00Cr30Mo2）， 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時，應(yīng)在定貨時聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。

3 安裝位置問題

本控制器安裝時建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，數(shù)字質(zhì)量控制器，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點偏移，可以調(diào)整零點后在工作。

4 閥口密封問題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥， 不是截止閥， 不能當(dāng)截止閥使用， 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。長期工作后， 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi)， 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%， 則應(yīng)進行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時與銷售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進行換算。

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