質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程， 在工作的過程當(dāng)中， 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降， 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa)，流量計(jì)控制模塊， 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí)， 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓， 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)， 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。

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FSCU介紹

FSCU（Flow System Control Unit）是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對(duì)高校、研究院、科研型企業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)，F(xiàn)SCU 自動(dòng)化程度高、于高集成度、數(shù)據(jù)采集。適用于多種氣體、液體自動(dòng)化控制，在多種應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槠淞可泶蛟斓臍怏w、液體流量控制系統(tǒng)單元，流量計(jì)控制模塊哪家好，目前大量應(yīng)用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)科研領(lǐng)域。

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體積流量的表示方法

對(duì)多數(shù)用戶而言，流量計(jì)控制模塊廠家，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位，流量計(jì)控制模塊價(jià)格， 不符合國內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）， 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI。

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