真空腔體加工的注意事項(xiàng)

真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，半導(dǎo)體真空腔體加工多少錢，真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。

超高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率、放氣率低和導(dǎo)熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點(diǎn)，在高真空和超高真空系統(tǒng)中，應(yīng)用較廣。

為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。

真空腔體

1. 真空檢漏基本概念

所謂漏氣是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。真空系統(tǒng)

主要有以下幾點(diǎn):

虛漏.氣密性.漏孔.漏率. 小可檢漏率.檢漏靈敏度.反應(yīng)時(shí)間.消除時(shí)間.漏孔堵塞現(xiàn)象

2. 漏氣的判斷方法

1真空泵工作是否良好

2真空系統(tǒng)內(nèi)是否存在嚴(yán)重放氣  

3真空系統(tǒng)容器壁或間隙處是否漏氣

4是否漏氣與放氣現(xiàn)象共存

3. 真空檢漏法

1可動(dòng)部分：傳動(dòng)軸及其密封部分  

2玻璃或陶瓷一類的易損部分

3波紋管

4使用法蘭和墊圈的密封部分

5焊接部分的裂痕處  

小漏和微漏怎么查?

小漏和微漏就比較難查了，大型真空腔體加工多少錢，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如或乙醇，用向的地方噴射或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，河北真空腔體加工多少錢，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了，也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，非標(biāo)真空腔體加工多少錢，再噴射。好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。ZHC一1儀表也可以用上述方法來檢漏，不同的是ZHC．1儀表能在旋片泵工作范圍內(nèi)進(jìn)行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。

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