氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大， 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較， 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，氣體質(zhì)量控制器多少錢， 設(shè)定電位器， 和三位閥控開關(guān)等。

如何通過質(zhì)量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內(nèi)，也可以用手將出氣口堵死，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。

氣體質(zhì)量流量控制器特點

利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當(dāng)流體流動時，氣體質(zhì)量控制器報價，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，氣體質(zhì)量控制器，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實現(xiàn)微小流量測量和控制，其特點是可靠性高、重復(fù)性好，氣體質(zhì)量控制器廠家，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制

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