氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，四川質(zhì)量控制器，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

如何通過質(zhì)量流量控制器判斷沒有氣體通過？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來控制氣體流量的，質(zhì)量控制器報價，質(zhì)量流量計（MFM）是用來測量氣體流量，質(zhì)量控制器多少錢，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。  當(dāng)然MFC還是有檢測方法的，如果通過氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設(shè)定一個大流量，MFC會反饋一個值，這個值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來了，因為MFC壓損通常是比較大的，質(zhì)量控制器哪家好，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。

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