廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵

渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態(tài)下，可以通過它實現(xiàn) 0.00000001Pa（大氣壓的十萬億分之一）的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質(zhì)譜儀（比如 GC/MS、LC/MS、TOF…）、鍍膜機、電子顯微鏡（SEM、TEM）、聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）、表面分析儀器，高能物理實驗裝置、高真空實驗裝置等諸多應用。

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采用該技術(shù)的分子泵尺寸會更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，安捷倫真空分子泵異響處理，從而降低了整個真空系統(tǒng)的成本和尺寸。

采用該技術(shù)的分子泵尺寸會更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個真空系統(tǒng)的成本和尺寸。

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改進的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)

TwisTorr 305 Q 系列分子泵擁有的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)：比其他 305 分子泵增加了一級渦輪葉片，并采用了與其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牽引級。MacroTorr 牽引級是專為大氣載而設(shè)計的，它擁有更寬大的氣體通道，解決了其他牽引級結(jié)構(gòu)在高負載長期運行時發(fā)熱集中的問題，可以承受持續(xù)的大氣體流量，并可將前級耐壓提高至 16 mbar。

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國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%，國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發(fā)干泵，潮州安捷倫真空分子泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。

　　干式真空泵主要應用于半導體、化工、電影、儀器、、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場上超過50%的產(chǎn)品是進口品牌，尤其在半導體行業(yè)中，絕大多數(shù)的真空泵均為國外品牌，國產(chǎn)真空泵主要應用于化工等行業(yè)。

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安捷倫分子泵采用的3級TwissTorr 拖動級技術(shù)，通過分子泵旋轉(zhuǎn)盤面，提高氣體分子動能，從而有效提高抽速和極高的壓縮比。的拖動級技術(shù)與上一代設(shè)計相比，功耗降低了20%。安捷倫Triscroll 和變頻Triscroll 渦旋式干泵為雙級渦旋式干泵，是目前市場上極限真空度的干泵

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安捷倫Agilent E8364B PNA系列網(wǎng)絡(luò)分析儀頻率范圍：10 MHz-50 GHz104 dB 動態(tài)范圍和 <0.006 dB 跡線噪聲<26 微秒/點測量速度，安捷倫真空分子泵定期保養(yǎng)，32 個通道，16，001 個點TRM/LRM 校準可實現(xiàn)準確的晶圓上、夾具內(nèi)、波導和天線測量混頻器變頻損耗、回波損耗、隔離度和群延遲放大器增益壓縮、諧波、IMD 和脈沖射頻安捷倫E8364B矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀是PNA系列網(wǎng)絡(luò)分析儀平臺的成員，并提供速度和精度的組合，為今天的高頻率，的組件測試要求的苛刻需求。

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