金屬蒸汽離子激光中，氦鎘(He-Cd)激光是的，氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線，和441.6 nm藍光，成都激光混合氣，是常見的輸出。加上特殊設計時，它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分，在信息處理方面很有用。適當調配各波長的輸出，幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色，因此它的白光激光產品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高，使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF，激光混合氣多少錢， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。

激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

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