特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，特種氣體供應(yīng)商，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類，是隨著近年來工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng) 化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。滅菌特種氣體主要應(yīng)用于（繃帶、縫線及手術(shù)器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。

 特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，匯總起來共有227種，可分成五個(gè)類別。工業(yè)上，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大，但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小，但根據(jù)不同的用途。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔， 避免陽光直射，特種氣體銷售， 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣， 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記。 　

我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，合肥特種氣體，特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的競爭力。

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