氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來(lái)密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來(lái)檢測(cè)這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄?，容易穿過(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，所以這種檢測(cè)方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞（即能夠檢測(cè)出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡(jiǎn)便。

氦氣檢漏試驗(yàn)的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。

壓氦法檢漏

壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過(guò)漏孔泄漏出來(lái)，經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。

一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部，河北壓力容器檢漏品牌，無(wú)漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423，充氣柜壓力容器檢漏品牌，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng)。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來(lái)被檢測(cè)，真空箱式壓力容器檢漏品牌，其漏率在漏率表上顯示出來(lái)。

一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，汽車零部件壓力容器檢漏品牌，這一批的總漏率沒超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值，說(shuō)明這一批合格；總漏率超過(guò)報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說(shuō)明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。

怎樣進(jìn)行氦氣泄漏檢測(cè)效果更好？

氦泄漏檢測(cè)：氦檢漏器也被稱為質(zhì)譜儀檢漏器(MSLD)，用于定位和測(cè)量系統(tǒng)或包含設(shè)備的泄漏大小。示蹤氣體氦氣被引入到與檢漏儀相連的測(cè)試部件中。通過(guò)測(cè)試部件泄漏的氦氣進(jìn)入系統(tǒng)，測(cè)量該分壓，并將結(jié)果顯示在儀表上。

氦檢漏儀由以下部件組成:檢測(cè)氦質(zhì)量的分光計(jì)。維持分光計(jì)壓力的真空系統(tǒng)。一個(gè)機(jī)械泵，用于抽空待測(cè)零件。支持不同檢測(cè)階段的閥門:排空、測(cè)試和排氣。監(jiān)控輸出信號(hào)的放大器和讀出儀器。電源和控制。將待測(cè)零件連接到檢測(cè)器的夾具。

汽車零部件壓力容器檢漏品牌-科創(chuàng)真空公司由北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司提供。北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司是北京 昌平區(qū) ,行業(yè)設(shè)備的見證者，多年來(lái)，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針，滿足客戶需求。在科創(chuàng)真空領(lǐng)導(dǎo)攜全體員工熱情歡迎各界人士垂詢洽談，共創(chuàng)科創(chuàng)真空更加美好的未來(lái)。