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FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應(yīng)用系統(tǒng)中,F(xiàn)SCU 可通過觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制國內(nèi)外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換,從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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流體控制
流體控制是利用流體的各種控制元件(各種泵、閥門、油缸)及液壓系統(tǒng)附件(過濾器、管路接頭、液位計(jì)、壓力儀表等),組成控制閉式回路,以進(jìn)行自動(dòng)控制。
液壓控制 液壓控制用油液作為工作介質(zhì),故能把由于功率的損耗而產(chǎn)生的熱量,氣體流量控制模塊,從發(fā)生的地方帶到別處,氣體流量控制模塊公司,這樣在一定的功率情況下,可以大大減小部件的尺寸;從負(fù)載的影響看,液壓系統(tǒng)具有機(jī)械上的剛性,用在閉環(huán)系統(tǒng)中,定位剛度較大,位置誤差較??;與機(jī)械機(jī)構(gòu)相比,液壓執(zhí)行器的響應(yīng)速度較高,能高速啟動(dòng)、制動(dòng)與反向,同時(shí)其力矩—慣量比也較大,氣體流量控制模塊廠家,因而其加速能力較強(qiáng);液壓傳動(dòng)易實(shí)現(xiàn)無級(jí)調(diào)速,具有自身潤滑等優(yōu)點(diǎn)。
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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2,氣體流量控制模塊哪家好, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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